イオンスパッタ装置

JFC-1500（日本電子）
試料表面に数ナノメートルの薄い金属膜を付着させて、導電性の低い試料でも走査型電子顕微鏡観察が行えるようになります。スパッタ中はきれいな光（グロー放電）が見えます。