走査型電子顕微鏡

JSM-6510LV（日本電子）
目安倍率ｘ30～30万。

走査型電子顕微鏡

JSM-6010LA（日本電子）
目安倍率ｘ30～30万。元素分析装置が付属しており、試料に含まれる元素についても調べることができます。

断面試料作製装置

IB-09020CP（日本電子）
イオン化したArを照射し、試料の断面を加工する装置です。

複合ビーム加工観察装置

JIB-4601F（日本電子）
目安倍率ｘ20～100万。FE-SEMによる極微小領域の観察・分析とFIBによる加工が可能であり、組み合わせにより三次元分析が可能です。